Новый китайский метод: ускоритель частиц для производства чипов 2 нм
Замысел выглядит грандиозно: новая технология обещает невероятную производительность при куда более низкой себестоимости. Если всё получится, это станет настоящим геополитическим ходом, способным изменить баланс сил в микроэлектронике. Готовит ли Китай ответный удар в чиповой гонке?
Почему все так зависят от ASML и что придумали в Китае?
Современные литографические установки — это вершина человеческой инженерии. Сердце процесса — экстремальное ультрафиолетовое (EUV) излучение, которое «рисует» схемы на кремнии для чипов от 7 нанометров и тоньше. Монополистом здесь является голландская компания ASML, и её технологии Китаю недоступны из-за санкций.
Но что, если источником этого самого EUV-света может быть не лазерная плазма, как у ASML, а... ускоритель частиц? Именно над этим с 2017 года работает команда профессора Тан Чжуаньсяна из Университета Цинхуа. Их метод называется SSMB — устойчивый микробанчинг. Суть в том, чтобы использовать энергию ускоренных электронов для генерации невероятно мощного, чистого и стабильного EUV-излучения.
Главный козырь? Мощность. Теоретически SSMB может выдавать до 1000 Вт — это на порядки выше, чем у существующих коммерческих решений. Представьте разницу между фонариком и прожектором. К 2022 году в Цинхуа собрали работающий прототип, а профессор Пан Жилунг заявил, что ключевые технологические барьеры почти преодолены.
В феврале этого года проект вышел на новый уровень: в инновационном районе Сионган прошли совещания по выбору площадки для строительства полноценного завода. Мегафабрика, построенная вокруг ускорителя, — звучит как сценарий фантастического фильма, но это становится реальностью.
Разумеется, детали держатся в строжайшем секрете. Создать литографическую машину — это не только источник света, но и невероятно точная оптика, механика, системы контроля. Профессор Тан честно признает: для успеха нужны долгосрочные усилия и теснейшая кооперация с промышленностью. Но альтернатива есть. И она может оказаться не просто обходным путём, а совершенно новой, более эффективной дорогой. Интересно, что скажут в Амстердаме?